Необходимость Intel снизить капитальные затраты на этот год на $4 млрд, как отмечают представители ресурса Tweakers, никак не влияет на готовность компании получить от нидерландской ASML первый литографический сканер TwinScan EXE:5200, пригодный для серийного производства чипов по технологии Intel 14A. Система относится к поколению EUV-оборудования с высоким значением числовой апертуры (High-NA).
Формально, ASML уже отгрузила три экземпляра подобной техники, но они относились к модели TwinScan EXE:5000, предназначенной для экспериментов и проведения исследовательской деятельности, а в серийных количествах чипы могут выпускаться только при использовании сканеров модели TwinScan EXE:5200 и более поздних. Помимо Intel, ранние образцы оборудования должна была получить и тайваньская TSMC.
Как сообщают нидерландские источники со ссылкой на руководство производителя оборудования, Intel уже в ближайшие месяцы начнёт получать от ASML компоненты сканера TwinScan EXE:5200. Помимо прочего, такой сканер позволяет за час обрабатывать более 185 кремниевых пластин, обеспечивая более высокую производительность по сравнению с экспериментальной моделью TwinScan EXE:5000. Выпуск чипов по технологии Intel 14A может быть налажен в следующем году, пусть и в ограниченных количествах. Оборудование класса High-NA EUV компания ASML начнёт массово поставлять в 2028 году.
Ещё более высокое значение числовой апертуры на уровне 0,75 может появиться у оборудования ASML в 2032 году. Каждый литографический сканер такого класса стоит несколько сотен миллионов долларов США, но если верить нидерландским СМИ, пока Intel не готова экономить на их закупке, понимая важность своевременного освоения передовых технологий.