Первая установка Canon для нанопечатной литографии передана на изучение специалистам Intel и Samsung

Компания Canon отправила первый образец своей машины для нанопечатной литографии американскому исследовательскому консорциуму — важный шаг к коммерческому использованию этого инновационного метода производства микросхем. Новая технология заметно сокращает расходы и потребление электроэнергии. Формирование элементов электронной схемы происходит за счёт деформации покрытия штампом с последующим травлением.

Первая установка Canon для нанопечатной литографии передана на изучение специалистам Intel и Samsung

Традиционное производство полупроводников производится методом фотолитографии (DUV или EUV), в процессе которого фоточувствительная полимерная плёнка (фоторезист) засвечивается через фотошаблон с заданным рисунком, а затем проэкспонированные участки удаляются путём травления.

В нанопечатной литографии изображение образуется за счёт механической деформации полимерного покрытия пресс-формой. С помощью нанопечатной литографии можно получать наноструктуры размером менее 10 нм на достаточно больших площадях, что недоступно для всех других методов литографии.

Преимуществом нанопечатной литографии перед фотолитографией является возможность снижения производственных затрат и потребления энергии. В то время как для обычного фотолитографического оборудования требуются массивы линз или зеркал, машины Canon имеют более простую конструкцию и потребляют в десять раз меньше электроэнергии.

Читать также:
Бетельгейзе может взорваться в сверхновую в ближайшие 30–50 лет, говорит новый анализ светимости звезды

Нанопечатная литография также отлично подходит для формирования сложных трёхмерных схем с помощью одного штампа — процесс, практически не реализуемый при фотолитографии.

Несмотря на весь потенциал новой технологии, для её коммерческого использования пока существуют препятствия, самым существенным из которых являются дефекты и брак, вызванные попаданием мельчайших частиц пыли.

Поставка первой полнофункциональной машины Canon для тестирования Техасскому институту электроники (TIE), поддерживаемому ведущими производителями полупроводников, намекает на масштабные изменения, назревающие в производстве микросхем. Заместитель генерального директора Canon по оптическим продуктам Казунори Ивамото (Kazunori Iwamoto) сообщил о планах поставки от 10 до 20 машин в год в течение следующих трёх-пяти лет.

Техасский институт электроники (TIE) — консорциум, поддерживаемый Техасским университетом в Остине. В него входят такие тяжеловесы полупроводниковой отрасли, как Intel, NXP и Samsung, а также многочисленные правительственные агентства и академические институты.

НОВОЕ НА САЙТЕ

Тренировки в спортивных комплексах: преимущества и выбор

Выбор места для тренировок играет ключевую роль в достижении спортивных целей. Современные спортивные комплексы предлагают обширный спектр возможностей, от индивидуальных занятий до групповых программ, а также широкий выбор оборудования и квалифицированных инструкторов. Правильный выбор...

Современные виниры: технологии, материалы и как выбрать идеальные накладки для вашей улыбки

Сегодня виниры стали одним из самых популярных решений для улучшения внешнего вида зубов. Благодаря современным технологиям и материалам, они позволяют не только исправить эстетические недостатки, но и значительно улучшить качество жизни пациента. Виниры –...

Традиции и символика поминальных трапез: как правильно организовать обед в память об усопших

Поминальные трапезы – это важный культурный и религиозный обряд, который помогает родным и близким выразить свою скорбь и почтить память усопших. Эти традиции имеют глубокие корни в истории и духовной культуре разных народов. Они...

«Это открытый вопрос»: разделение Intel возможно, но решение примет следующий гендиректор

После отставки Патрика Гелсингера (Patrick Gelsinger) в начале месяца компанией Intel временно руководят финансовый директор Дэвид Зинснер (David Zinsner) и глава продуктового направления Мишель Джонстон Холтхаус (Michell Johnston Holthaus). Первый недавно признал, что дальнейшую...

CD Projekt Red официально анонсировала The Witcher IV — главной героиней станет Цири

Разработчики из CD Projekt Red представили дебютный трейлер The Witcher IV — ожидаемой фэнтезийной ролевой игры с открытым миром, ранее известной под кодовым названием Polaris. Премьера состоялась в рамках церемонии награждения The Game Awards...