Первая установка Canon для нанопечатной литографии передана на изучение специалистам Intel и Samsung

Компания Canon отправила первый образец своей машины для нанопечатной литографии американскому исследовательскому консорциуму — важный шаг к коммерческому использованию этого инновационного метода производства микросхем. Новая технология заметно сокращает расходы и потребление электроэнергии. Формирование элементов электронной схемы происходит за счёт деформации покрытия штампом с последующим травлением.

Первая установка Canon для нанопечатной литографии передана на изучение специалистам Intel и Samsung

Традиционное производство полупроводников производится методом фотолитографии (DUV или EUV), в процессе которого фоточувствительная полимерная плёнка (фоторезист) засвечивается через фотошаблон с заданным рисунком, а затем проэкспонированные участки удаляются путём травления.

В нанопечатной литографии изображение образуется за счёт механической деформации полимерного покрытия пресс-формой. С помощью нанопечатной литографии можно получать наноструктуры размером менее 10 нм на достаточно больших площадях, что недоступно для всех других методов литографии.

Преимуществом нанопечатной литографии перед фотолитографией является возможность снижения производственных затрат и потребления энергии. В то время как для обычного фотолитографического оборудования требуются массивы линз или зеркал, машины Canon имеют более простую конструкцию и потребляют в десять раз меньше электроэнергии.

Читать также:
Apple представила смарт-часы Watch Ultra 2 в новом чёрном цвете и с новыми функциями за $799

Нанопечатная литография также отлично подходит для формирования сложных трёхмерных схем с помощью одного штампа — процесс, практически не реализуемый при фотолитографии.

Несмотря на весь потенциал новой технологии, для её коммерческого использования пока существуют препятствия, самым существенным из которых являются дефекты и брак, вызванные попаданием мельчайших частиц пыли.

Поставка первой полнофункциональной машины Canon для тестирования Техасскому институту электроники (TIE), поддерживаемому ведущими производителями полупроводников, намекает на масштабные изменения, назревающие в производстве микросхем. Заместитель генерального директора Canon по оптическим продуктам Казунори Ивамото (Kazunori Iwamoto) сообщил о планах поставки от 10 до 20 машин в год в течение следующих трёх-пяти лет.

Техасский институт электроники (TIE) — консорциум, поддерживаемый Техасским университетом в Остине. В него входят такие тяжеловесы полупроводниковой отрасли, как Intel, NXP и Samsung, а также многочисленные правительственные агентства и академические институты.

НОВОЕ НА САЙТЕ

Спецоперация, 11 декабря: освобождены Дарьино и Плехово в Курской области

Дзен Подразделения группировки российских войск "Север" освободили приграничные населённые пункты Дарьино и Плёхово в Курской области, сообщило Минобороны РФ в опубликованной в среду сводке о ходе отражения попытки вторжения ВСУ на территорию России. Ведомство...

МИД высказался о выделении США Киеву кредита за счет российских активов

Дзен Выделение США Украине денег под гарантии доходов от "замороженных" российских активов - это банальный грабеж, заявили в МИД России. "Объявленное министерством финансов США 10 декабря выделение режиму в Киеве очередного кредита для поддержания...

Макрон отправится в Польшу для обсуждения Украины

Дзен Президент Франции Эммануэль Макрон в четверг прибудет с визитом в Польшу, где намерен обсудить конфликт на Украине с польским премьер-министром Дональдом Туском после встречи с избранным президентом США Дональдом Трампом и Владимиром Зеленским...

«Самовнушение». На Западе сделали неожиданное заявление об СВО

ДзенСтраны Запада уверовали в ложное представление что, их собственное выживания зависит от победы над Россией на Украине. Об этом написал испанский генерал Луис Фелиу Бернардес в статье для газеты ABC." (По мнению Запада. —...

Влияние Макрона ослабло, заявил французский политолог

Дзен Влияние президента Франции Эммануэля Макрона из-за продолжающегося политического кризиса в стране ослабло на международной арене, в особенности в ЕС, с ним больше не считаются, заявил РИА Новости эксперт Института политических исследований Франции (Sciences...